建筑行业专题报告：洁净室内部各系统产业链及公司梳理（28页，2026年）

分类：建筑地产

标签：洁净室系统、半导体产业链、国产替代、建筑工程业、国泰海通证券

摘要：国泰海通证券研究所于2026年9月7日发布建筑行业专题报告《洁净室内部各系统产业链及公司梳理》，全文28页，署名分析师为韩其成、郭浩然、曹有成。报告以集成电路产业用洁净室为对象，将其拆为内部装修系统、空调机械系统、生产环境清洁系统、电力及仪控系统、防微振系统、消防及安全系统六大板块，并指出核心在于暖通空调（HVAC）系统、高纯工艺系统与工艺废气治理系统三套子系统。数据来源包括美埃科技、亚翔集成、圣晖集成、柏诚股份、至纯科技、正帆科技、华特气体等公司的招股书与年报，Choice与Wind数据库，以及《晶圆制造厂的AMC控制技术分析》《芯片工厂Fab厂房布置综述》《洁净室机电全周期施工要点总结》等工程文献。全文共列42张图表与8张数据表，覆盖产业链图谱、技术参数对照、超纯水系统参与方与企业财务指标等。 报告先界定洁净室的功能定位：集成电路流程中的硅片制造、IC晶圆制造与IC封装核心工序必须在洁净室内完成，空气分子污染物（AMC）分为酸性气体、碱性气体、有机分子、水汽和掺杂物五大类，可引发扩散、薄膜、光刻、离子注入等良率问题。表1逐项列示掩膜氧化、掩膜氮化硅沉积、有源区图形化、浅沟槽隔离刻蚀

来源：zuudee | 日期：2026-09-08 | 格式：PDF | 页数：28