富创精密（688409）：平台型半导体精密零部件龙头，气体传输系统开启第二增长曲线（2026年 21页）

分类：研究报告

标签：半导体设备、精密零部件、国产替代、气体传输系统

摘要：富创精密（688409）成立于2008年，总部位于辽宁沈阳，是国内稀缺的平台型半导体设备精密零部件制造商，2022年于科创板上市。公司聚焦集成电路装备机械及机电零组件、气体传输系统两大类核心产品，下游覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键设备环节，产品配套覆盖率居国内本土厂商前列，并已进入东京电子（TEL）、北方华创、中微公司、ASMI等海内外头部客户供应链，成长为具备平台化能力的本土龙头企业。公司发展历程伴随国内半导体制程升级，依次跨越40nm及以上成熟制程、14-28nm中端制程、7-14nm先进制程三个阶段，并在7nm及以下先进制程所需的高精密、高洁净度金属零部件领域实现研发与量产突破，核心产品性能对标国际主流标准，打破海外厂商垄断。 从业务结构看，公司2020-2025年营业总收入由4.81亿元增至35.43亿元，五年复合增速约49%。2025年业务口径调整为机械及机电零组件、气体传输系统两大板块：机械及机电零组件为收入核心，2025年营收23.97亿元（占67.64%），涵盖腔体、内衬、匀气盘、加热盘、真空阀体及各类模组化组件；气体传输系统营收11.06亿元，同比增长25.85

来源：zuudee | 日期：2026-08-12 | 格式：pdf | 页数：21